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技術(shù)文章

TECHNICAL ARTICLES

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  • 202411-22
    Sensofar共聚焦白光干涉儀用于表征溫度誘導(dǎo)的硅晶片形狀和紋理演變

    本案例研究中,Linkam和SensofarMetrology展示了在為溫控光學(xué)輪廓測(cè)量實(shí)驗(yàn)生產(chǎn)實(shí)驗(yàn)裝置方面的合作。由于球面像差引起的成像問(wèn)題,在過(guò)去一直是一個(gè)難點(diǎn)工序。使用Linkam的精密冷熱臺(tái)和Sensofar的Linnik物鏡解決了這些問(wèn)題,實(shí)現(xiàn)了納米材料3D形貌輪廓的精確測(cè)量。我們觀察了硅晶片在20°C到380°C溫度范圍內(nèi)的形貌變化??焖贌崽幚恚≧TP)是硅晶片制造過(guò)程中的一個(gè)重要步驟,其中晶片在短時(shí)間內(nèi)快速加熱到高溫,然后以受控方式緩慢冷卻,為晶片賦予所需的半導(dǎo)...

  • 202411-22
    Sensofar共聚焦白光干涉儀用于通過(guò)全內(nèi)反射產(chǎn)生結(jié)構(gòu)顏色的表面的表征

    我們的研究涉及設(shè)計(jì)產(chǎn)生干涉顏色的微結(jié)構(gòu)。我們對(duì)這種光學(xué)機(jī)制的第一次報(bào)告出現(xiàn)在Goodling,A.E.,等(2019)的論文中?!巴ㄟ^(guò)微尺度凹面界面的全內(nèi)反射和干涉實(shí)現(xiàn)的顏色化?!盢ature566(7745):523-527。光在微結(jié)構(gòu)內(nèi)通過(guò)全內(nèi)反射反彈,并且在經(jīng)歷不同反射路徑的光線之間發(fā)生光學(xué)干涉。我們?cè)O(shè)計(jì)微結(jié)構(gòu)化表面來(lái)控制光的反射和產(chǎn)生的顏色。我們需要測(cè)量表面地形,以便將光學(xué)性質(zhì)與表面幾何形狀關(guān)聯(lián)起來(lái)。微結(jié)構(gòu)的幾何形狀,如它們的深度、寬度、角度和表面粗糙度都會(huì)影響光學(xué)性...

  • 202411-21
    Sensofar共聚焦白光干涉儀用于摩擦過(guò)程中W-C:H涂層的轉(zhuǎn)移層演變

    該案例研究專注于開(kāi)發(fā)具有高硬度和同時(shí)具有較低摩擦系數(shù)的納米復(fù)合W-C:H涂層。我們研究了在混合PVD-PECVD工藝中由添加到濺射大氣中的烴(主要是乙炔)得到的不同氫化碳基質(zhì)含量的W-C:H涂層系統(tǒng)。涂層是使用三種不同的PVD技術(shù)(直流磁控濺射、HiPIMS、HiTUS)制備的,通過(guò)不同的烴氣添加來(lái)控制氫化碳的含量。由于此處研究的涂層的摩擦行為是由球上的轉(zhuǎn)移層形成來(lái)控制的,而我們?cè)缙诘墓ぷ髦攸c(diǎn)是研究硬度和摩擦系數(shù)之間的基本關(guān)系,因此重點(diǎn)轉(zhuǎn)向了轉(zhuǎn)移層本身的演變的研究。重要的是要...

  • 202411-21
    Sensofar共聚焦白光干涉儀用于插入物的前沿測(cè)量

    螺旋插刀用于制造螺紋。螺旋加工過(guò)程復(fù)雜,這就是為什么插刀上有許多不同的角度(前角、后角、間隙角)(圖1a)。此外,有些插刀上還有多達(dá)3個(gè)刃齒。這使得插刀的測(cè)量變得非常困難。在先前的質(zhì)量評(píng)估中,人們不得不依賴于簡(jiǎn)單的光學(xué)設(shè)備來(lái)評(píng)估尺寸精度,并使用探針設(shè)備測(cè)量表面粗糙度。然而,這些測(cè)量的信息價(jià)值非常有限。此外,通常需要破壞零件以便測(cè)量所需的尺寸。為了不斷提高工具的質(zhì)量,需要一種靈活的設(shè)備來(lái)測(cè)量和評(píng)估切削工具的關(guān)鍵尺寸和表面粗糙度。本案例研究的目的是使用3D光學(xué)輪廓儀測(cè)量插刀的切削...

  • 202411-20
    共聚焦白光干涉儀用于對(duì)通過(guò) ROBOCASTING 技術(shù)形成的陶瓷層進(jìn)行幾何測(cè)量

    Robocasting是用于陶瓷基材料的第一代擠出增材制造方法,可構(gòu)建包含連續(xù)層的成品零件。它具有易于加工和經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的優(yōu)點(diǎn),并且適用于多種材料。Robocasting有望用于生產(chǎn)壓電傳感器、陶瓷晶格過(guò)濾器或陶瓷晶格結(jié)構(gòu),例如定制的骨植入物。掃瞄式電子顯微鏡(SEM)等常規(guī)方法可以用于測(cè)量燒結(jié)零件上的一些幾何信息,但是,印刷陶瓷層很難通過(guò)這些常規(guī)方法進(jìn)行測(cè)量。在這項(xiàng)研究中,研究人員使用了一臺(tái)非接觸式3D表面測(cè)量共聚焦顯微鏡(Sneox,Sensofar,巴塞羅那)來(lái)測(cè)量單層陶瓷...

  • 202411-20
    Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 史*工具的使用與景觀演變:3D 微磨損視角

    1-.ScottRS,UngarPS,BergstromTS,BrownCA,GrineFE,TeafordMF&WalkerA(2005).牙齒微磨損質(zhì)地分析顯示,人化石中人種的飲食差異。Nature436693-695.2-.EvansAA,DonahueRE(2008).激光掃描共聚焦顯微鏡:研究石器時(shí)代微磨損的潛在技術(shù)J.Archaeol.Sci.35,2223-2230.3-.GillPG,PurnellMA,CrumptonN,BrownKR,GostlingNJ...

  • 202411-19
    Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 用于手持設(shè)備瞬態(tài)振動(dòng)傳播的有限元分析

    所測(cè)樣品是指尖皮膚的復(fù)制品。在這個(gè)例子中,在測(cè)量過(guò)程中難以完*保持手指絕對(duì)靜止,因此需要使用測(cè)量復(fù)制品的間接測(cè)量方法。目的是獲得用于模擬皮膚微觀幾何形狀的信息,以便創(chuàng)建簡(jiǎn)化的虛擬模型。模型被用于有關(guān)瞬態(tài)振動(dòng)從手持式設(shè)備(例如沖擊扳手和鑿子機(jī))經(jīng)由皮膚傳播到發(fā)生損壞的神經(jīng)的有限元分析(FEA)中。這些振動(dòng)會(huì)導(dǎo)致稱為“白手指”的醫(yī)療狀況,也是一種常見(jiàn)的工作相關(guān)健康問(wèn)題。在這項(xiàng)由政府資助的項(xiàng)目之前,尚沒(méi)有針對(duì)此特定目的皮膚微觀幾何形狀表征研究。圖1.皮膚概述,測(cè)量區(qū)域描繪在矩形藍(lán)色...

  • 202411-19
    Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 用于醫(yī)用植入體制造和控制

    醫(yī)用植入體的制造過(guò)程需要非常高水平的質(zhì)量控制,尤其是當(dāng)零部件將被長(zhǎng)期植入脊柱區(qū)域時(shí)(如圖1所示)。檢查過(guò)的零件呈現(xiàn)出來(lái)源不明確的不均勻標(biāo)記,只有在最終目視檢查中才會(huì)被發(fā)現(xiàn)。目視檢查的可接受性標(biāo)準(zhǔn)通常依賴于人眼的解讀,并且在客戶規(guī)格中缺乏充分的描述,而這可能導(dǎo)致零件合規(guī)性方面發(fā)生沖突。如果造成缺陷的因素中涉及到機(jī)械加工,則可以定期進(jìn)行粗糙度分析,以幫助評(píng)估標(biāo)記。但是,接觸式觸針2D輪廓儀在這種復(fù)雜的成品鈦零件上留下的標(biāo)記會(huì)造成不易被接受的缺陷。因此,我們選擇了非接觸式光學(xué)表面輪...

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