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SEM納米探針臺產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了三維空間上的準(zhǔn)確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn),可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運(yùn)動(dòng)操作。
ZP3-4 微納探針臺探針數(shù)量:4個(gè)探頭,每個(gè)探頭配備一個(gè)三軸探針臂;自由度:每個(gè)探頭獨(dú)立驅(qū)動(dòng)(X、Y、Z三自由度)。
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