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共聚焦白光干涉儀
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新型 西班牙Sensofar 3D白光干涉共聚焦顯微鏡S neox在性能、功能、效 率和設(shè)計(jì)方面優(yōu)于現(xiàn)有的三維共聚焦白光干涉儀,是Sensofar 的新一 代*測量系統(tǒng)。
西班牙Sensofar平面度測量白光干涉儀S neox 0.65X,以優(yōu)秀的橫向和縱向分辨率測量平面度。S neox搭配0.65X物鏡,具有最大視野的物鏡和最高精度的載物臺,在平面度、平行度和臺階高度測量方面提供了最佳的表現(xiàn)。Sensofar自己設(shè)計(jì)的0.65X邁克爾遜物鏡旨在實(shí)現(xiàn)一個(gè)目的:以快速準(zhǔn)確的方式測量平面度。密集采樣、大視野和干涉測量的結(jié)合確保了所預(yù)期的效果。
通過緊湊型設(shè)計(jì)和多功能性的統(tǒng)一結(jié)合,Sensofar集成式三維共聚焦白光干涉儀測量頭S mart2是市面上*的可集成的區(qū)域共聚焦傳感器,S mart 2 的設(shè)計(jì)非常易于集成,包括計(jì)算核心在內(nèi)的所有電子設(shè)備都在測量頭內(nèi)部。
此款西班牙Sensofar 5軸空間共聚焦白光干涉儀S neox Five Axis結(jié)合了高精度旋轉(zhuǎn)模塊和S neox 3D光學(xué)輪廓儀的先進(jìn)檢測和分析功能在規(guī)定的位置上實(shí)現(xiàn)全自動地3D表面測量,并結(jié)合在一起,完成全表面的3D立體測量。S neox 3D測量技術(shù)涵蓋了廣泛的尺度,包括輪廓變化(多焦面疊加技術(shù))、亞納米粗糙度(干涉測量技術(shù))或需要更高橫向分辨率以及垂直分辨率(共聚焦技術(shù))的臨界尺寸。
Sensofar三維共聚焦白光干涉儀S lynx 2是一款多功能、用途廣泛的3D光學(xué)輪廓儀,用于粗糙度、體積和臨界尺寸測量。
新型 西班牙Sensofar三維共聚焦白光干涉儀S neox在性能、功能、效 率和設(shè)計(jì)方面優(yōu)于現(xiàn)有的三維共聚焦白光干涉儀,是Sensofar 的新一 代*測量系統(tǒng)。
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