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技術文章
TECHNICAL ARTICLES掃描電鏡是一種廣泛應用于材料科學、半導體工藝等領域的*備工具,它可以通過探測樣品表面激發(fā)出來的電子信號,對物質(zhì)微觀形貌進行表征。在半導體工藝中,掃描電子顯微鏡被廣泛應用于器件結構的實時檢測和剖面分析方面,為生產(chǎn)和研發(fā)提供了其他測試分析儀器所無法提供的直接測量信息。
本期內(nèi)容,就讓我們一起來欣賞ZEM18鏡頭下的半導體世界~
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