用于微流體應(yīng)用的激光制造微通道表征

利用 Sensofar 的 3D 光學(xué)輪廓儀 S neox，我們可以輕松表征通過激光技術(shù)制造的微通道的形貌

因微流體領(lǐng)域呈現(xiàn)出的巨大應(yīng)用潛力，它在過去幾年中經(jīng)歷了巨大的發(fā)展。直接微流體應(yīng)用的一些例子包括芯片實驗室、芯片器官、護理點器件、細(xì)胞捕獲、化學(xué)和生物學(xué)分析。在用途方面，微流控器件有不同的幾何形狀，其復(fù)雜程度可根據(jù)需要而調(diào)整，但是構(gòu)成這些微流控器件的基本結(jié)構(gòu)之一是微通道。

已知有幾種材料可用于制造微通道，而材料的適用性取決于制造技術(shù)。這些材料中包括聚合物、硅或玻璃。制造技術(shù)的示例包括軟刻蝕、光刻和熱熔技術(shù)。但是，當(dāng)使用鈉鈣玻璃作為材料時（因其堅固性、耐化學(xué)性、透明性和低成本），直接激光刻寫便成為最合適的技術(shù)之一。其精確且多用途，可快速生成非常復(fù)雜的幾何圖形。而且，由于其非接觸性質(zhì)，因此沒有污染物并且不需要潔凈室設(shè)施。當(dāng)為此應(yīng)用目的進行納米尺度操作時，必須具有非常良好的形貌圖，以確保其質(zhì)量，以及有關(guān)通道尺寸的所有信息。在此報告中，通過共聚焦顯微鏡對通過直接激光寫入制造的結(jié)構(gòu)進行了充分表征。

通過直接激光寫入在鈉鈣玻璃上制造微通道。使用的激光器是 Rofin Nd:YVO4 系統(tǒng)，脈沖持續(xù)時間為 20 ns，中心波長為 1064 nm。該裝置由檢流計系統(tǒng)構(gòu)成，該檢流計系統(tǒng)處理，并且無需樣品移動即可制造復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。使用焦距為 100 mm 的透鏡將激光束聚焦在基板表面上，以確保工作區(qū)域面積為 80×80 mm2。鈉鈣玻璃購自當(dāng)?shù)毓?yīng)商。
為了獲得適當(dāng)?shù)慕Y(jié)構(gòu)縱橫比，操作員對樣品進行了多次激光掃描。因此對形貌演變進行研究。研究人員通過 1 到 10 次掃描制造出微通道。使用 Sensofar S neox 3D 光學(xué)輪廓儀，使用 20 倍放大倍率物鏡捕獲結(jié)構(gòu)區(qū)域的共聚焦圖像。生成表面輪廓，并描繪出激光掃描產(chǎn)生的微通道深度變化（圖 1）。
微通道壁的粗糙度值是一個須獲得的關(guān)鍵值，因為它必須足夠低才可用于微流體應(yīng)用。利用 Sensofar S neox 3D 光學(xué)輪廓儀和 SensoMAP 分析軟件，研究人員得以從小面積獲得粗糙度值。本研究選擇了通過 50 倍放大倍率物鏡獲得的八次激光掃描微通道底部的形貌（圖 2）。

<em>圖 2</em>. 根據(jù) ISO 25178 標(biāo)準(zhǔn)，用激 光 制 造 的 一 個 微 通 道 的   3 D   形 貌 以 及 通 道 底 部 的 粗 糙 度 參 數(shù)

憑借激光直接寫入的多功能性和精確度，我們可以制造出幾種微流控器件。在這里，我們顯示了使用 20 倍物鏡獲得的某些示例的部分 3D 共聚焦形貌圖（圖 3）。

em>圖 3</em>. 3D 共 聚 焦 形 貌 圖 詳 細(xì) 描 繪 了 一 些 在 鈉 鈣 玻 璃 操 作 激 光 的 一 些 微 流 控 器 件 示 例

利用 Sensofar 的 3D 光學(xué)輪廓儀 S neox，我們可以輕松表征通過激光技術(shù)制造的微通道的形貌。
使用具有 20 倍放大倍率物鏡的共聚焦技術(shù)分析激光掃描的結(jié)構(gòu)輪廓的演變。此外，結(jié)合 SensoMAP 分析軟件，可以計算出制造出的通道的粗糙度參數(shù)。在這個例子中，獲取共聚焦形貌時使用了50 倍放大放大倍率物鏡。
總之，通過使用 S neox 3D 光學(xué)輪廓儀，可以在尺寸和粗糙度上**表征每個結(jié)構(gòu)。